氬氣生產廠家為你介紹高純氬氣凈化機
- 2019-10-18-
氬氣生產廠家為你介紹高純氬氣凈化機裝置說明:原料氬為工業普氬時,其純化工藝為,采用非蒸散型吸氣劑為凈化劑,在一定溫度下,吸氣劑可將普氬氣中的O2、N2、H2、CO、CO2、CH4等雜質形成穩定的化合物或固溶體,從而達到對氬氣精制的目的。
本裝置凈化器采用特殊結構,具有接觸面積大、阻力小、凈化效率高、熱功率損耗小等優點。
氬氣生產廠家介紹說本裝置吸附干燥器對氬氣進行深度脫水,可與區熔硅晶爐配套使用可用于激光器、濺射、半導體生產,氣相色譜儀、特殊燈泡稀有金屬加工等需要用高純氬氣的生產技術領域。
技術參數:
1、處理氣量: 5~500Nm?/h
2、純化后氬氣純度 99.9995%
純氬技術要求應符合下表的規定符合:GB/T4842-2006項目
原料氣指標 純氬指標 純化后指標
氬氣純度(體積分數)/10-2 99.99% 99.999% 99.9995%
氫氣含量(體積分數) ≤ ppm 5 1.0 0.5
氧氣含量(體積分數)≤ ppm 10 1.5 1.0
氮含量(體積分數)≤ ppm 50 4 2
烴類含量(體積分數)≤ ppm 20 1 0.5
水份含量(體積分數)≤ ppm 15 3 2.0
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